镜筒内置式Omega过滤器

镜筒内置式能量过滤器能获取高精度的能量过滤像及电子能量损失谱，优化设

计的过滤器能提供无畸变的过滤像。

控制系统

电子枪、透镜、过滤器等电子光学系统、测角台、抽真空系统等全部由计算机

控制。系统的稳定性高，因此能获得稳定的数据

压电陶瓷控制测角台

新的测角台采用了压电陶瓷控制，方便操作原子级的视场搜索。