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扫描电镜

首页 > 产品中心 > 扫描电镜 > 日本电子场发射扫描电镜JSM-7500F

产品参数

产品编号: 日本电子场发射扫描电镜JSM-7500F所属品牌: 日本电子
产品型号: JSM-7500F 额定功率:按实际方案提供
所属类别: 扫描电镜所属用途: 显微观察
应用领域: 所有工业领域
产品特性: JSM-7500F场发射扫描镜配备了冷场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)物镜,配合Gentle Beam (GB模式即柔和光束)能够达到高的分辨率。通过与GB模式组合,即使是用几百电子伏的入射电子束也能获得高分辨率,是非常适合观察样品浅表面的装置之一。此外,JSM-7500F还可以选配用于元素分析等的各种附件。

日本电子场发射扫描电镜JSM-7500F

 

 

 

 

 

JSM-7500F场发射扫描电镜的电子光学系统将场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)

物镜组合为一体,冷场发射电子枪在低加速电压下也能够将电子束聚焦得很细,与通用型

扫描电镜一样,对大样品也可以进行高分辨率的观察。

 

Gentle Beam(即柔和光束)能以低能量的入射电子束观察样品的浅表面

 

 

通过给样品加以偏压并照射电子束,利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以几百电子伏的入射电子对样品的浅表面进行高分辨率观察。

 

 

 r-过滤器选择性检测二次电子

和背散射电子

 

 

 r-过滤器有标准SB(二次电子检测)模式、标准BE模式(背散射电子检测)、Sb模式

(二次电子为主)和Bs模式(背散射电子为主)四种模式。Sb模式能检测混有任意比例背散

射电子的二次电子,Bs模式能检测混有任意比例二次电子的背散射电子,这些功能在简明易

懂的菜单上都可一键操作完成。

JSM-7500F 主要特点:


1.主动式减震器
2.磁悬浮分子泵系统,无需UPS保护
3.标配的五轴马达驱动全对中样品台
4.全自动样品更换气锁
5.全自动样品监控系统
6.全自动物镜光阑
7.多通道显示系统
8.自动减速系统标准配置

 

技术参数:

1.分辨率:1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)
2.加速电压:0.1KV-30kV
3.放大倍数:25-100万倍
4.样品室尺寸:至大200mm直径样品
5.束流强度:10-13到2X10-9

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