日本电子场发射扫描电镜JSM-7610F通过半浸没式（semi-in-lens）物镜进行高分辨率观察和分析

半浸没式（semi-in-lens）物镜在低加速电压下也能将电子束聚焦得很细；浸没

式（in-lens）肖特基场发射电子枪寿命长，能获得稳定的电流，这两者的结合既

兼顾了高分辨率观察同时也能够进行高空间分辨率分析。

日本电子场发射扫描电镜JSM-7610F

高性能电子光学系统能进行快速、高精度的分析

电子光学系统采用了高性能电子光学系统。不仅能进行高分辨率观察还

可以进行稳定、快速、高精度的元素分析。

扩展性

▪ 可插拔式背散射电子检测器 (RBEI)
▪ 低角度背散射电子检测器 (LABE)
▪ 扫描透射电子检测器 (STEM)
▪ 样品台导航系统
▪ 离子清洗装置
▪ 能谱仪(EDS)
▪ 波谱仪 (WDS)
▪ 阴荧光检测器
▪ 各种样品架