Verios 是 FEI 的 XHR（高分辨率）SEM 系列的二代产品。在半导体制造和材料科学应用中，

它可在 1 至 30 kV 范围内提供亚纳米量级分辨率以及增强的对比度，

满足材料准确测量所需，同时又不会削弱传统扫描电子显微镜 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、样本灵活性和易用性等优势。

Verios 的材料科学应用

对材料科学家来说，Verios 可以将亚纳米表征拓展到当下正在开发的全新材料

（例如催化剂颗粒、纳米管、孔隙、界面、生物对象和其他纳米量级结构），

从而让他们获得重要的新发现。无需转而采用 TEM 或其他成像技术便可获得高分辨率、高对比度图像。

Verios 可灵活用于各类研究应用，能够容纳全尺寸晶圆或冶金样本之类的大样本。

您可以在高电流模式下执行快速分析，也可以开展准确的原型设计应用，

例如电子束感应式材料直接沉积或光刻