金相显微镜是一种用入射照射观察金属样品(金相组织)表面的显微镜。它结合了光学显微镜,光电转换技术和计算机图像处理技术。高科技产品可以在计算机上轻松观察金相图像,从而可以对金相图进行分析,分级等,并可以输出和打印图像。
扫描电镜是一种新型电光仪器。它具有样品制备简单,放大倍率范围宽,图像分辨率高,景深大等特点。几十年来,扫描电子显微镜已广泛应用于生物学,医学,冶金等领域,并促进了各相关学科的发展。
两种显微镜之间存在很大差异,主要表现在以下几个方面:
光源不同:金相显微镜使用可见光作为光源,扫描电子显微镜使用电子束作为光源进行成像。
原理不同:金相显微镜采用几何光学成像原理扫描,扫描电子显微镜采用高能电子束轰击样品表面,激发样品表面各种物理信号,然后使用不同的信号检测器接收物理信号并将其转换为图像信息。
分辨率不同:金相显微镜由于光和衍射的干扰,分辨率只能限制在0.2-0.5um。扫描电子显微镜使用电子束作为光源,其分辨率可达到1-3nm。因此,金相显微镜的微观结构观察属于微米分析,扫描电子显微镜的观察是纳米尺度分析。
一个不同点是景深:一般金相显微镜的景深在2-3um之间,因此对样品表面的光滑度有很高的要求,因此样品制备过程相对复杂。 SEM的景深可以高达几个。
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