扫描电镜（SEM）是1965年发明的现代细胞生物学研究工具。它主要使用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用非常窄的电子束通过电子束扫描样品。

并且样品的相互作用产生各种效应，主要是来自样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面的放大图像。当扫描样本时，以时间序列创建该图像，即，使用逐点成像获得放大的图像。

一、二次电子图像的分辨率校准

在现行规定中，喷涂在碳表面上的金颗粒的标准图像用于在最佳工作条件下以一定的放大率拍摄金颗粒的二次电子图像。

并且金颗粒边界的最小距离可以是在照片上的分辨率除以当前的放大率用于计算扫描电镜的二次电子图像的分辨率。然而，在实际校准过程中，难以准确确定分辨率。

一方面，越接近扫描电镜的极限放大倍数，金颗粒边界越模糊，界定颗粒边界的难度越大，边界之间的最小距离难以准确计算;一方面，“可解决”的要求受人为因素的影响很大，很难在此基础上得到准确的评价。

二、长度测量误差校准

现代扫描电镜有自己的测量程序，可以直接测量微纳米几何形状。因此，有必要评估不同放大倍数下扫描电镜长度测量的精度。长度测量指示误差的校准也可用于校正待测试的实际样品的长度测量。

这也是通过扫描电镜测量纳米长度的国家标准中的要求。 扫描电镜长度测量误差可以使用标准样品直接校准，例如线宽，线间距和网格类型。

三、X射线能谱仪的校准

X射线能谱仪是分析扫描电镜的必备配件。其功能是对化学元素进行半定量或定量分析。规定了X射线能谱仪的检查要求和检查方法，可以提高分析扫描电镜综合测量性能的评价。

校准X射线能谱仪可选自国家标准材料或具有可追溯值的多元素标准。建议在半定量和定量分析的两个条件下分析扫描电镜的谱线分辨率，元素分析范围和定量分析。指定了技术指标和错误等测试方法。

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